Valvola a gas più leggera da un pollice di altissima purezza per fabbriche di semiconduttori e laboratori analitici con superfici elettrolizzate e monitoraggio delle particelle

Progettata con precisione per ambienti sensibili alla contaminazione, questa valvola gas più leggera da un pollice a controllo particellare garantisce l'integrità nei sistemi critici di distribuzione del gas. Caratterizzata da acciaio inossidabile 316L-VAR con finitura elettrolucidata <0,5 Ra µm, questa valvola gas ad alta purezza raggiunge gli standard di particolato di Classe 1/ISO 2 per i gas di processo dei semiconduttori. Il design della tenuta conica autoallineante elimina il contatto metallo-metallo, prevenendo la generazione di particelle durante oltre 100.000 azionamenti. Essendo una valvola gas da laboratorio essenziale, incorpora tenute frontali in stile VCR per l'integrità a tenuta di elio fino a 1x10⁻⁹ atm-cc/sec He, mantenendo la purezza a livello di ppb per gas speciali come arsina e silano. Le tenute dello stelo in PTFE non sfaldanti e la configurazione a zero gambe morte soddisfano gli standard SEMI F72. Include porte di monitoraggio delle particelle integrate per la verifica in situ della conformità ISO 14644-1 Classe 3 durante l'installazione.Punti chiave:✓ Pulizia su scala nanometrica: 0,1μm per litro (per IEST RP CC001.6)D: Posso integrare il monitoraggio delle particelle senza interruzione del processo?Tenuta a tenuta stagna

: tasso di perdita di elio di 1x10⁻⁹ atm-cc/sec
R: Rapporti IEST-CC0016 Classe 1 con dati di distribuzione delle particelle da 0,1-5,0μm.Immunità alla corrosione: Passivazione secondo il metodo dell'acido nitrico ASTM A967<5 particles>✓ 
R: Rapporti IEST-CC0016 Classe 1 con dati di distribuzione delle particelle da 0,1-5,0μm.: Design dello stelo anti-risonanza✓ 
R: Rapporti IEST-CC0016 Classe 1 con dati di distribuzione delle particelle da 0,1-5,0μm.: valvola gas da laboratorio conforme a SEMI F72Scenario applicativo:
R: Rapporti IEST-CC0016 Classe 1 con dati di distribuzione delle particelle da 0,1-5,0μm.FAQ:D: Quale certificazione di particolato viene fornita con questa valvola gas ad alta purezza?
R: Rapporti IEST-CC0016 Classe 1 con dati di distribuzione delle particelle da 0,1-5,0μm.D: Le vostre valvole gas da laboratorio sono compatibili con i droganti tossici?R: Sì, progettate per gas SEMI S2 Categoria 1 con piena compatibilità dei materiali.D: Posso integrare il monitoraggio delle particelle senza interruzione del processo?

R: Sì, le porte di campionamento consentono la verifica in situ conforme a ISO 14644-1.
D: Qual è la prestazione di degassamento?

R:

<1x10⁻⁹ g/cm²/sec TML/CVCM secondo NASA-STD-6001B.
D: Fornite protocolli di controllo della contaminazione per l'installazione?

R: Kit di installazione dettagliati conformi a ISO 14644-5 disponibili.